+86-917-3373399 info@yunch.tech
Категорија производа
Контактирајте нас

Shaanxi Yunzhong sanoatni rivojlantirish Co., Ltd

Unvon: No.128 Gaoxin Road, Xitoyning Shaanxi viloyati, Baoji shahri

Kompyuter: 721013

Tel: + 86-917-3373399

Faks: + 86-917-3373378

E-mail: info@yunch.tech

Новости
Дом > Новости > Садржај
То је пљување мете за танког филма
Aug 02, 2016


Високо је пљување метаод традиционалних материјала индустрији, опште услове, као што су величина, глатко степена, невиности, садржаја нечистоћа, густине, Н/О/Ц/С, величине зрна и дефект контролисати; садржи виших захтева или посебним захтјевима: израњање грубост, отпор вредност, дистрибуције величине зрна, састава и микроструктуре, страно тело (оксид) садржај и величина, Пропустљивост, ултра високе густине и ултра-добро зрно и тако даље. Магнетрон је пљување је нова метода исказ фазу физичке гаса је систем електронског пиштољ везане за емисију електрона и фокусира на Тањирасте материјал да би јој се атоми покоравати моментум трансфер принцип да више енергије од материјала према подлози исказ филм. Ово се зове спуттеринг мета материјалне оплату.То је пљување метала, керамичке, бориде легура, итд...

Магнетрон , то је пљување премазаје нова врста физичке испарење исказ метод, 2013 наиспаравањем премаза методом,многе предности су сасвим јасне. Као зрела технологија, то је пљување магнетрон се користи у многим пољима.


То је пљување један је од главних технологија танког филма материјалне припреме, користи се генеришу у Јон Јон извора, у вакуму после убрзава агрегације и формирање велике брзине енергије Јон зрак бомбардовања солидна површина, Јон и солидан површински атома у току кинетицке еxцханге, направите солидан површински атоми из солидни и уплаћен на површини на подлози , бомбардовао солидно је пљување филмски исказ сировог материјала, познат као спуттеринг мета материјал. Разне врстејој танког филма материјалаЈеси био у широкој употреби у полупроводник интегрисаних кола, снимање средње, авион приказа и површински премаз од wоркпиеце.



То је пљување мета материјали који су углавном користе у индустрији електронике и информације, као што је интегрисано коло, за складиштење информација, течним кристалима, ласерски меморије, електронски контролер сегмената; може да се користи на пољу стакло премаза; може да користи у материјале отпорне на хабање, Висока температура, корозија, најквалитетнији декоративних предмета, као што је индустрија.

класификација


Према облик, облик се може поделити у дуго мету, квадратних мету, округла мету и посебно обликованог мету.


По саставу могу бити подељени у металне мете, легура мета материјал, керамичке сложене мета


Према различитим апликација је подељен полупроводник удружења керамичких мета, снимање средње керамичких мета, приказ керамичке мета, Суперпроводни керамичких мета и огромни магнето отпора керамичких материјала

Према апликација области су подељени на мицроелецтроницс мета, магнетско снимање материјала и оптички диск мета, материјал мета племенити метал, танки филм отпорник мета, мета Проводни филма, површински модификација мета и маска слој циљеве, декоративни слој мета материјал, електродни материјал, материјал за паковање и друге мете


Принцип магнетрон је пљување: спуттеринг електрода (катода) између до аноде и са знаком плус ортхогонал магнетно поље и Ел. поља, у високо вакуумској комори за испуњена инертним гасом (обично за Ар гас), трајни магнет на површини од мета материјалну формацију 250 ~ 350 ТС магнетно поље. Са групом Ел. поље високог напона у ортхогонал електро и магнетних поља. Под радња електро поља, Ар јонизација гаса у позитивних јона и електрони, мета са негативним високог напона, послао из мета полу електрон јонизације вероватноћу магнетно поље и радни плин је повећао, у непосредној близини катода обрасца високе густине плазму, Ар Јон у под радња силе Лоренцова убрзао према површини мета , бомбардују површину мету са велике брзине, мета је јој атоми покоравати принцип конверзије замах са високим кинетиика енергија из мета површине према подлози исказ филм. То је пљување магнетрон генерално подељен на два типа: притока је пљување и РФ је пљување, која је притока спуттеринг опреме је једноставна, у на, не, не од метала, стопа је и брз.

Радио фреквенција је пљување се користи више, поред Проводни материјал, то може да се користи као који не спроводите материјал, и материјал од оксида, нитриде и карбид могу бити припремила реактивна то је пљување. Ако фреквенција РФ је побољшано након микроталасну плазме, не, не, често се користи у у електрон циклотрон резонанција (ЕЦР) тип микроталасну плазма је пљување.

Магнетрон пљување мету:

Метал је пљување мета, мета је пљување легуре, керамичке пљување мета, бориде керамика је пљување мета материјал, карбид керамичких пљување мета материјала, флуор керамичких пљување мета материјал, нитриде керамика је пљување мета материјал, оксид керамичке мета, селениде керамичких пљување мета материјал, силициде је пљување керамичких мета и сулфид керамика је пљување мета материјал, Телурајд керамичких пљување мета материјал, друге керамичке мету, дрогирана са керамичке мета хром силиконске оксид Цр-СиО , Индус пхоспхиде мете (ИНП), арсен олово мета (ПбАс), арсен Индус циља ("ине").


Високе чистоће и високе густине спуттеринг мете:


То је пљување мета (невиности: 99.9% до 99,999%)


1 металне мете:

Мета мета, мета, мета, мета, мета, мета, мета, мета, мета, мета, силикон, алуминијум, титанијум, алуминијум мета, мета, мета, мета, мета, мета, мета никла мета, Ни, Ти мета, Ти, Зн, Зн, Цр, Цр, Мг, Мг НБ, Нб, СБ, Сн, алуминијум мета Ал, Индус, Индус, пегла, Фе, Зр мета зрал мета, инерцијским, цирконијум мета, Зр, Ал Си мета је мета, Сај, АлСи Цу Цу мета , Тантал мета Т, а, Ге мете, Ге, Аг, Аг, Цо, Цо, Ау, Ау, гадолинијум, Гд, Ла, Ла, y, y, ЦЕ ЦЕ, тунгстен W, нерђајући челик, никл хром мета, НиЦр, ХФ, ХФ, Мо, Мо, Фе Ни мета, ФеНи, волфрама мета, w метала је пљување мета материјала.

2 керамичке мета

ИТО и АЗО мета, магнезијум оксид, мета, мета, мета од ирон оxиде силиконске нитриде титанијума нитриде, силикон карбид мета мета мета мета, цинк-оксида хрома, цинк сулфида, Силика мета, мета силиконске оксид, цериум оксид мета, мета 2 мете и пет два зирцониа оксид, титаниум диоксид, ниобиум мета мета 2 зирцониа мета 2 и хафнијум оксид мета, мета 2 цирконијум бориде титанијума дибориде , волфрама оксид мета, мета, мета пет три два алуминијум оксид оксидације од два Тантал оксид 5, два ниобиум мета, мета мета yттриум флуорида, магнезијум флуор, цинк селениде мета алуминијум нитриде мета, силиконске нитриде мета, Бора нитриде титанијума нитриде силикон карбид мета, циљ, мета. Мета, мета, литијум ниобат титанате прасеодyмиум баријум титанате мета, лантханум титанате и никла оксид керамичке мета је пљување мета.

Мета 3 легура

Ни Цр легура мета, никл ванадиум легура мета, алуминијум силиконске легура мета, мета бакарне легуре никла, титанијумске легуре алуминијума, никла ванадиум легура мета и ферроборон легура мета, ферросилицон легура мету са високе чистоће легура је пљување мета.


[[JS_BodyEnd]]